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              減薄拋光機

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              設備名稱 減薄拋光機 品牌型號 萊鉑LP062

              設備用途
              利用機械砂輪和晶圓的摩擦,使襯底形成損失層,達到對晶圓進行減薄厚度以及達到特定粗糙度的目的。
               
              主要技術指標:
              樣品尺寸:可同時研磨拋光4英寸及其以下尺寸樣品
              精度: 2英寸以下晶圓磨拋精度±1微米;
                         3英寸晶圓磨拋精度±2微米;
                         4英寸晶圓磨拋精度±3微米;
                         5英寸晶圓磨拋精度±4微米;

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