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              自動紫外光刻機

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              設備名稱:自動紫外光刻機   品牌型號 SUSS MA6

              設備用途
              光刻機發出的紫外光通過具有特定圖形結構的掩膜版對樣片曝光,然后通過顯影將掩膜版上的圖形結構轉移到樣片表面的光刻膠上。

              主要技術指標:
              可選波長:365nm 405nm 436nm
              可加工尺寸:2inch 3inch 4inch晶圓和≥1cm2碎片
              極限分辨率:0.8um
              正面套刻精度:≤0.25um
              曝光穩定性:±1%
              曝光模式:真空接觸、硬接觸、軟接觸和泛曝光

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